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但是又可以根據(jù)設(shè)備的制作材質(zhì)分為不銹鋼噴淋塔、pp噴淋塔、玻璃鋼噴淋塔、PVC洗滌塔,不同材質(zhì)的噴淋塔廢氣處理設(shè)備根據(jù)所處理的廢氣性質(zhì)來確定用哪一種材質(zhì)和處理工藝,溫馨提示:酸性廢氣選擇堿液噴淋、堿性廢氣選擇硫酸溶液吸收、無酸堿的含油、塵廢氣選擇循環(huán)水溶液噴淋處理。

半導(dǎo)體芯片加工廠的工業(yè)廢氣主要包含了硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣、氨氣、硫酸霧等的酸/堿廢氣以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷總烴等的有機(jī)廢氣,具有揮發(fā)性的VOCs以及酸堿廢氣主要來源于對芯片的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中產(chǎn)生的,這部分的廢氣濃度小且排放量大。

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噴淋塔是一種可處理無機(jī)廢氣、不同價態(tài)氮氧化物氣體(NOx)、硫酸酸霧、氯化氫氣體、粉塵廢氣等的設(shè)備,利用工業(yè)廢氣與設(shè)備中的液體(化學(xué)藥劑)充分接觸發(fā)生化學(xué)反應(yīng),使設(shè)備中的廢氣濃度降低到一定數(shù)時達(dá)到的工業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn),但是市場上的噴淋塔是設(shè)置有分類的,本文介紹關(guān)于噴淋塔主要分為的兩大類廢氣處理裝置。

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因光伏工業(yè)產(chǎn)生的廢氣所含的成分復(fù)雜,因此是不能夠只采用一種廢氣處理工藝處理就完成的,光伏工業(yè)廢氣可采用氫氧化鈉和硫化鈉相結(jié)合的方法進(jìn)行處理,除了采用氫氧化鈉和硫化鈉聯(lián)合處理的方法以外,還可以采用亞氯酸鈉和硫酸或者是其他的處理方法,具體還需根據(jù)廢氣的主要成分來確定處理方案。

活性炭吸附裝置:將集中收集的焊接廢氣在風(fēng)機(jī)提供動力的情況下進(jìn)入活性炭吸附裝置,當(dāng)焊接時產(chǎn)生的各類氧化物顆粒的氣體和煙霧與活性炭固體表面未平衡和未飽和的分子引力或化學(xué)健力接觸時,活性炭吸附氣體分子并將其濃聚并保持在固體表面,最后污染物被吸附了,達(dá)標(biāo)后的廢氣進(jìn)入設(shè)備排塵系統(tǒng),凈化氣體高空達(dá)標(biāo)排放。
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水噴淋法+活性炭吸附法+催化燃燒法:,酸霧廢氣采用的凈化吸收塔設(shè)備耐腐蝕性能,不容易結(jié)垢,可以處理含有多種有機(jī)溶劑以及無機(jī)介質(zhì)的工業(yè)廢氣,也是可以處理大風(fēng)量的,其設(shè)備的凈化率高,使用壽命長,現(xiàn)已替代了傳統(tǒng)的板式塔。
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